G 250	G 350	G 450
處理室尺寸	寬 270 毫米，深 370 毫米，高 400 毫米	寬：370 毫米，深：390 毫米，高：500 毫米	寬：500 毫米，深：500 毫米，高：650 毫米
熱蒸發(fā)器	多達 4 種材料	多達 8 種材料	多達 8 種材料
有機蒸發(fā)器	多達 4 種材料	多達 4 種材料	多達 8 種材料
電子束蒸發(fā)	多槽或單槽	多槽和/或單槽	多槽和/或單槽
濺射	向上或向下，2 x 2"	向上或向下：3 支 2 英寸口徑的噴槍，或 2 支 3 英寸口徑的噴槍	向上或向下：3 支 3 英寸、2 支 4 英寸、4 支 2 英寸或其他尺寸
共沉積	蒸發(fā)和/或濺射	蒸發(fā)和/或濺射	蒸發(fā)和/或濺射
與真空進樣室兼容	可選	可選	可選
離子輔助沉積		可選	可選
真空度	中真空 10-7 mbar	中真空 10-7 mbar	中真空 10-7 mbar
與潔凈室兼容	是	是	是