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真空解決方案 真空解決方案

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UNIVEX C 多腔鍍膜系統(tǒng)和定制化沉積系統(tǒng)

對于特定應(yīng)用,Leybold 萊寶提供模塊化多腔鍍膜機。

Leybold 萊寶 UNIVEX 多腔鍍膜機可以根據(jù)客戶要求設(shè)計,包含獨立的工藝室、真空進樣室和傳送室。每個真空室通常都有自己的高真空系統(tǒng),可以實現(xiàn)單基片或多基片鍍膜。

在各個真空室之間傳送基材時,使用電機驅(qū)動的機械手臂傳送。UNIVEX 控制軟件根據(jù)特定的應(yīng)用要求進行定制,支持編制工藝程序。

標簽:UNIVEX C 多腔鍍膜系統(tǒng)和定制化沉積系統(tǒng)

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